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ICM-E 系列集成电路电子级超纯水系统
骇思HyperPureX ICM-E系列集成电路电子级超纯水系统以严谨的合规性指导系统的设计、制造、安装和验证的全过程，以模块化的设计集成了多介质过滤、活性炭吸附、软化、二级RO2nd、脱气、EDI、超滤、紫外杀菌和TOC降解、树脂超纯化、以及终端微滤各纯化单元，广泛应用于半导体晶圆及液晶屏清洗、芯片等各种精密电子元器件的加工和制造。
